Browsing Uda Hashim, Prof. Ts. Dr. by Author "Fauziyah, Salehuddin"
Now showing items 1-1 of 1
-
Simulasi Fabrikasi Simpangan Cetek Ultra menggunakan Resapan Dopan daripada SOD (Spin On Dopant)
Uda, Hashim; Nik Hazura, Nik Hamat; Fauziyah, Salehuddin; Ibrahim, Ahmad; Sutikno Madnasri (Universiti Malaysia Perlis, 2006)Pembentukan simpangan cetek ultra merupakan suatu proses yang kritikal dalam fabrikasi peranti-peranti submikron bagi teknologi litar terkamil pada masa hadapan. Di dalam penulisan ini, simulasi proses pembentukan simpangan ...