• Login
    View Item 
    •   DSpace Home
    • Journal Articles
    • Journal of Engineering Research and Education (JERE)
    • View Item
    •   DSpace Home
    • Journal Articles
    • Journal of Engineering Research and Education (JERE)
    • View Item
    JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

    Simulasi Fabrikasi Simpangan Cetek Ultra menggunakan Resapan Dopan daripada SOD (Spin On Dopant)

    Thumbnail
    View/Open
    Access is limited to UniMAP community. (515.8Kb)
    Date
    2006
    Author
    Uda, Hashim
    Nik Hazura, Nik Hamat
    Fauziyah, Salehuddin
    Ibrahim, Ahmad
    Sutikno Madnasri
    Metadata
    Show full item record
    Abstract
    Pembentukan simpangan cetek ultra merupakan suatu proses yang kritikal dalam fabrikasi peranti-peranti submikron bagi teknologi litar terkamil pada masa hadapan. Di dalam penulisan ini, simulasi proses pembentukan simpangan cetek ultra telah dilaksanakan menggunakan perisian ATHENA dan ATLAS yang terdapat di dalam pakej perisian Silvaco TCAD Tools. Dengan kelebihan tiada resapan bertingkat fana dan pencemaran logam, resapan daripada SOD (Spin On Dopant) terdop tinggi merupakansuatu teknologi yang sesuai bagi pembentukan simpangan cetek ultra. Proses resapan dari SOD disimulasikan seperti model simulasi resapan dari sumber terdop oksida. Fabrikasi diod juga turut disimulasikan bagi menganalisis ciri-ciri elektrik bagi simpangan ini. Keputusan yang diperoleh dipaparkan dalam gambarajah dua dimensi. Keputusan daripada proses simulasi mendapati simpangan cetek P+N berprestasi tinggi dalam kedalaman simpang iaitu 40nm diperoleh menggunakan resapan terma pantas B150 ke dalam silikon serta mempunyai ciri-ciri diod yang baik dengan ketumpatan arus bocor t=yang rendah iaitu0.5nA/cm2. Simpangan cetek dengan kedalaman kurang daripada 20nm turut diperolehi tetapi kualiti diod terjejas akibat arus permukaan bocor yang tinggi.
    URI
    http://dspace.unimap.edu.my/123456789/2178
    http://jere.unimap.edu.my
    Collections
    • Journal of Engineering Research and Education (JERE) [140]
    • Uda Hashim, Prof. Ts. Dr. [253]

    Atmire NV

    Perpustakaan Tuanku Syed Faizuddin Putra (PTSFP) | Send Feedback
     

     

    Browse

    All of UniMAP Library Digital RepositoryCommunities & CollectionsBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsThis CollectionBy Issue DateAuthorsTitlesSubjects

    My Account

    LoginRegister

    Statistics

    View Usage Statistics

    Atmire NV

    Perpustakaan Tuanku Syed Faizuddin Putra (PTSFP) | Send Feedback