Browsing by Subject "T-SUPREM4"
Now showing items 1-1 of 1
-
Simulasi Fabrikasi Simpangan Cetek Ultra menggunakan Resapan Dopan daripada SOD (Spin On Dopant)
(Universiti Malaysia Perlis, 2006)Pembentukan simpangan cetek ultra merupakan suatu proses yang kritikal dalam fabrikasi peranti-peranti submikron bagi teknologi litar terkamil pada masa hadapan. Di dalam penulisan ini, simulasi proses pembentukan simpangan ...